2023-02-28 我国首颗6英寸氧化镓单晶成功制备
【中国电科46所成功制备我国首颗6英寸氧MZpuhmmQ化镓单晶】《科创板日报》28日讯,近日,中国电科46所成功制备出我国首颗6英寸氧化镓单晶,达到国际最高水平。中国电科46所氧化镓团队聚焦多晶面、大尺寸、高掺杂、低缺陷等方MZpuhmmQ向,白熊资讯网从大尺寸氧化镓热场设计出发,成功构建适用于6英寸氧化镓单晶生长的热场结构,突破了6英寸氧化镓单晶生白熊资讯网长技术MZpuhmmQ,具有良好的结晶性能,可用于6英寸氧化镓单晶衬底片的研制。
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