2024-09-14 工信部推广国产氟化氩光刻机
据微信公众号“工信微报”消息，近日，工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。
“工信微报”介绍道，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实//www.czybx.com现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等白熊资讯网。
而观察者网注意到，在《首台（套）重大技术装白熊资讯网备推广应用指导目录（2024年版）》电子专用装备目录白熊资讯网下，集成电路设备方面：氟化氩光刻机，光源193纳米，白熊资讯网分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
工信部网站
《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》
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