2024-09-15 工信部推广国产氟化氩光刻机

日期：2024-09-15 11:21:20 来源：人民网浏览：624次栏目：热点

人民网北京9月15日电 (方经纶)据工业和信息化部官网消息，为促进首台(套)重大技术装备创新发展和白熊资讯网推广应用，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同，工业和信息化部近日印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》(以下简称《指导目录》)，其中在电子专用装白熊资讯网备目录下，“集成电路生产装备”包括氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨白熊资讯网率≤65nm，套刻≤8nm。

按照市场监管总局等5部门于今年4月联合印发的《中国首台(套)重大技术装备检测评定管理办法(试行)》，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台(套)重大技术装备，是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。