2022-05-23 日本供应商称中国难以掌握EUV技术

JSR 是全球最大的半导体生产关键材料供应商之一，其首席执行官最近表示，尽管中国推动自给自足，但缺乏行业基础设施将使中国“非常难以”开发领先的芯片制造技术。

日本半导体公司的美国主管埃里克约翰逊（（Eric Johnson））在接受采访时也表示，他预计芯片行业的供应瓶颈将持续到 2023 年。

美国对制造最先进芯片所需技术的出口限制促使中国大力投资发展自己的半导体供应链。

但约翰逊表示，中国将难以掌握基于极紫外或极紫外光刻技术的复杂芯片制造技术。

“我认为中国也很想发展自己的 EUV 能力，以及这些东西的生态系统。坦率地说，我认为他们很难做到这一点，”约翰逊说。

半导体是从智能手机到洗衣机等产品必不可少的产品，已成为华盛顿和北京之间竞争的焦点。周五，乔拜登 (Joe Biden) 开始了他作为美国总统的首次亚洲之行，他参观了位于韩国的三星芯片工厂，并强调了他确保半导体供应链安全的愿望。

EUV 光刻是一种要求很高的工艺，它使用光将微小的集成电路蚀刻到硅晶片上。

即使中国“得到了一篇关于这种化学物质究竟是什么的论文。. . 但如何实现纯度、精度和可重复性制造，这都会很难”，Johnson 说。“事情没那么简单，他们也没有供应链来支持。”

（原文：Even if China “got a paper onexactly what the chemistries were...to manufacture that at the purities, and the precision, and reproducibilityis really tough”, Johnson said. “It’s not that simple and they don’t have the supply chain to support that either.”）

总部位于东京的 JSR 是光刻胶的领先供应商，光刻胶是用于将电路图案转移到半导体晶圆上的薄层材料。分析师表示，它拥有全球约 30% 至 40% 的用于制造先进芯片的光刻胶市场，其客户包括三星、台湾台积电和美国英特尔。

中国是世界上最大的芯片进口国，并一直在大力投资半导体计划，作为其计划的一部分，中国原本计划要求到 2025 年，关键技术的最重要组件实现 70% 的自给自足。但约翰逊表示，“领先的能力需要数十年的时间www.czybx.com和大量资金才能开发出来。. . 你真的需要像 iPhone 这样的应用程序来为这些东西买单”。

不过，约翰逊强调，北京正在积极投资同样重要的不太先进的芯片制造技术，中国是 JSR 增长战略的重要组成部分。

他说，白熊资讯网他希望在能够“尊重”和“负责任地”为中国客户提供服务与“对美国政府的关切和保护日本利益的关切保持敏感”之间取得平衡。“人们低估了中国有多少机会不依赖于那些非常领先的能力，”他说。

约翰逊表示，损害全球经济的全球芯片供应瓶颈要到明年才能解决。“新产能上线只是需要时白熊资讯网间，而新产能可能要到今年年底或明年才会真正开始产生影响，”约翰逊说。

他说，他预计该行业要满足对汽车用半导体的需求将特别“成问题”，因为它们使用的芯片不太先进，利润较低，因此吸引的投资较少。

日本合成橡胶公司（JSR）成立于 1957年，聚焦四大主业：合成橡胶（收入占比 38%）、数码解决方案（31%）、塑料（20%）与生命科学（11%），其中数码解决方案涵盖光刻材料、化学机械抛光 CMP 材料等。目前公司光刻胶全球市占率 13%（其中 ArF 光刻胶位居第一）2000-2019 财年公司收入及净利润复合增速为 3.9%和 12.7%。2019财年综合毛利率近 30%，净利率近 5%，公司研发投入占营收的 5%。

自 90 年代起，JSR 将注意力集中在了电子产品材料及半导体材料方面，先后在北美、欧洲、韩国、中国台湾、中国大陆等地区设立了光刻胶及平板材料工厂，并逐步推出了新一代的光刻胶产品。

进入 21 世纪后，JSR 的光刻胶技术得到了进一步的突破。2004 年通过沉浸式 ArF 首次实现了 32nm 分辨率；随后 2006 年又与 IBM 进行合作，实现了30nm 的线宽。2011 年 JSR 与 SEMATECH 共同研制了用于 15nm 工艺的 EUV光刻胶；2015 年 JSR 与IMEC 签署合作意向书，并于次年设立了一家合资企业（EUV RMQC），进一步推动公司 EUV 光刻胶的研发进程。

JSR 的光刻胶业务市场占有率长期位于世界前列。截至 2019 年末，公司在全球光刻胶领域的市场占有率约为 13%，位居第三，仅次于 KrF 光刻胶龙头东京应化（27%）与 EUV 光刻胶龙头美国陶氏化学（17%）。在 ArF 光刻胶市场，JSR 的全球市占率约为 24%，位居第一；在 KrF 光刻胶市场，JSR 全球市占率约为 18%，位居第三。

在去年九月，日本半导体材料制造商 JSR 表示，它将收购总部位于俄勒冈州的 Inpria，着眼于后者在尖端芯片制造化学品方面的专业知识。

据相关报道，在 20KIAitBlKNm17 年和 2020 年，JSR 参与了 Inpria 的融资， 并拥有公司 21% 的流通股。通过此次交易，JSR 将收购剩余股份，Inpria 将成为 JSR Corporation 的全资子公司。此次收购的执行取决于多项条件，包括收到监管许可，预计将于 2021 年 10 月底完成。

JSR 首席执行官埃里克约翰逊周五在网上告诉记者，他打算让 Inpria 在 2022 财年实现盈利。

JSR 已经运营了 60 多年，制造范围广泛的功能材料，最近将其业务和未来扩张重点放在其数字解决方案上，其中包括半导体材料和生命科学业务，这两项业务的目标都是推动增长，非常适合利用公司在技术创新方面的优势。JSR 计划利用在大批量制造、质量控制、供应商管理和客户参与方面数十年的经验，进一步加强其支持和支持 IC 行业的能力。

自2007年成立以来，Inpria一直致力于开发基于金属的EUV光刻胶。其主要产品主要由氧化锡组成，使用EUV曝光系统实现了世界上最高分辨率。此外，金属基光刻胶在干蚀刻过程中的图案转移性能方面优于传统光刻胶，非常适合半导体量产工艺。

随着此次收购的完成，JSR 将把 Inpria 的金属基光刻胶添加到JSR的光刻胶产品组合中，作为一家支持我们客户当前和未来技术的先进材料公司，无缝地提供价值。

“芯片制造商高度重视 Inpria 的技术，我认为我们正走在一条有希望实现盈利的道路上，”JSR 常务官 Tadahiro Suhara 说。Inpria 在光刻胶领域享有盛誉，包括用于极紫外光刻的光刻胶。光刻胶用于在硅片上印刷电路。随着半导体变得越来越小，芯片制造商一直需要更复杂的产品。

JSR 还希望在金属氧化物光刻胶方面利用 Inpria 的技术，该技术专为生产下一代半导体而设计。JSR www.czybx.com和其他日本公司在光刻胶领域拥有全球约 90% 的份额。

Johnson 表示，全球光刻胶市场将在未来十年翻一番，并补充说，持续积极的投资将是 JSR 保持技术优势的关键。